仟凈專注半導(dǎo)體DI水(去離子水)設(shè)備的生產(chǎn)制造,半導(dǎo)體標(biāo)準(zhǔn)如下:
水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn):
①電阻率:≥18MΩ-cm(250C) (顆料≥0.05um)≤1 個/ml②金屬離子:(Na、Cl、Fe、Cu、Ca、k)≤10PPt③出水壓力: ≥4Kg/cm2
驗(yàn)收方式方法:
1. 電阻率以在線檢測計(jì)連續(xù)監(jiān)測 8 小時(shí)合格為準(zhǔn)。
2. (顆料≥0.05um)≤1 個/ml 以委托合法公司檢測檢驗(yàn)合格為準(zhǔn)
3. 各項(xiàng)重金屬離子:(Na、Cl、Fe、Cu、Ca、K)≤10ppt 為準(zhǔn))。
4.出水壓力:≥4KG/CM2。
