半導(dǎo)體DI水設(shè)備-芯片材料用去離子水制造系統(tǒng)

發(fā)表時(shí)間:2021-03-10 18:09作者:蕭興旺來源:仟凈去離子水設(shè)備網(wǎng)址:http://www.crzxawz.cn/

仟凈專注半導(dǎo)體DI水(去離子水)設(shè)備的生產(chǎn)制造,半導(dǎo)體標(biāo)準(zhǔn)如下:
水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn):

①電阻率:≥18MΩ-cm(250C) (顆料≥0.05um)≤1 個/ml②金屬離子:(Na、Cl、Fe、Cu、Ca、k)≤10PPt③出水壓力: ≥4Kg/cm2

驗(yàn)收方式方法:

1. 電阻率以在線檢測計(jì)連續(xù)監(jiān)測 8 小時(shí)合格為準(zhǔn)。

2. (顆料≥0.05um)≤1 個/ml 以委托合法公司檢測檢驗(yàn)合格為準(zhǔn)

3. 各項(xiàng)重金屬離子:(Na、Cl、Fe、Cu、Ca、K)10ppt 為準(zhǔn))。

4.出水壓力:4KG/CM2。

低TOC去離子水設(shè)備工藝


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